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1、主要是通過等離子體作用於材料表面使其產生一系列的物理、化學變化,利用其中所包含的活性粒子和高能射線,與表面有機污染物分子發生反應、碰撞形成小分子揮發性物質,從表面移除,實現清潔效果。
2、在真空腔體裏,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體,通過等體子體轟被清洗產品面,以達到清洗目的。
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