ICP的工作原理：感耦等離子體原子發射光譜分析是以射頻發生器提供的高頻能量加到感應耦合線圈上，並將等離子炬管置於該線圈中心，因而在炬管中產生高頻電覆磁場，用微電火花引燃，使通入炬管中的氬氣電離，產生電子和離子而導電，導電的氣體制受高頻電磁場作用，形成與耦合線圈同心的渦流區，強大的電流產生的高熱，從而形成火炬形狀的並可以自持的等離子體，由於高頻電流的趨膚效應及內管載氣的作用，使等離子體呈環狀結構。
樣品由載氣（氬）帶入霧化系統進行霧化後，以氣溶膠形式進入等離子體的軸向通道，在高温和惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，發射出所含元素的特徵譜線。根據特徵譜線的存在與否，鑑別樣品中是否含有某種元素（定性分析）；根據特徵譜線強確定樣品中相應元素的含量（定量分析）。
電感耦合等離子體(ICP)是目前用於原子發射光譜的主要光源。ICP具有環形結構、温度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發光源具有檢出限低、線性範圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。
